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레이저 스크라이브 장치
최적의 가공계와의 조합을 통해 고품질·고속 가공을 실현
장치 정보
■ 최적의 가공 시스템을 구축
■ 높은 스루풋
■ 모든 단면 형상의 가공이 가능
■ UV, Gr, IR 레이저를 선택 가능
가공 대상물
질화규소, 탄화규소, 그린시트, 알루미나
가공 사례
질화규소
입사측
홈 단면
두께 0.32 mm
가공 속도 167 mm/sec
폭 96 μm
깊이153 μm
그린시트
입사측
홈 단면
두께 0.30 mm
가공 속도 125 mm/sec
폭 26 μm
깊이230 μm
알루미나
입사측
홈 단면
두께0.18 mm
가공 속도 50 mm/sec
폭 20 μm
깊이 60 μm