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レーザスクライブ装置
最適な加工系との組み合わせで高品質・高速加工を実現
装置外観
装置情報
■ 最適加工システムを構築
■ 高スループット
■ あらゆる断面形状の加工が可能
■ UV、Gr、IRレーザを選択可能
加工対象物
窒化ケイ素、炭化ケイ素
グリーンシート、アルミナ
加工事例
窒化ケイ素
入射側
溝断面
厚さ 0.32 mm
加工速度 167 mm/sec
幅 96 μm
深さ153 μm
グリーンシート
入射側
溝断面
厚さ 0.30 mm
加工速度 125 mm/sec
幅 26 μm
深さ230 μm
アルミナ
入射側
溝断面
厚さ0.18 mm
加工速度 50 mm/sec
幅 20 μm
深さ 60 μm
